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高通量Turbo-V 1K-G 分子泵是一種專用真空泵系統,抽速可達 1000 L/s。Turbo-V 1K-G 專為工業應用而設計,尤其可用作薄膜沉積設備的渦輪分子泵。其葉片級數和整個泵結構均經過優化,能夠在高溫負載和很高氬氣流下工作。
典型的工業真空鍍膜應用,包括太陽能板和平板顯示器制造。Turbo-V 1K-G 的可靠設計和先進的電子設備、機架式或一體式解決方案,使其成為真空鍍膜行業的最佳分子泵解決方案。
Turbo-V 1K-G 分子泵專為薄膜沉積應用而設計的分子泵解決方案
經優化適用于很高的氬氣流量
支持高氣體流速,能夠使用 DN 160 或 200 實現高通量應用
耐用設計、高效運行的冷卻系統可實現連續運行
氣體吹掃可保護泵軸承,在存在系統污染物和微粒的情況下可實現無縫運行
低噪音,不會對系統產生任何影響
體積小巧,可安裝在任何位置,有利于輕松集成
免維護軸承,零運行成本
通過 Vacuum Link 應用程序實現無線控制,以便隨時隨地進行泵的操作
通用電子接口
H2 壓縮比 |
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He 壓縮比 |
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N2 壓縮比 |
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前級管道法蘭尺寸 |
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前級耐壓 — N2 |
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啟動時間 |
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工作位置 |
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建議采用的前級泵容量 |
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抽速 — Ar |
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抽速 — H2 |
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抽速 — He |
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抽速 — N2 |
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振動水平 |
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操作環境溫度 |
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極限真空 |
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標準和認證 |
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法蘭類型 |
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貯存環境溫度 |
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重量 |
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額定轉速 |
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